Rentgen spektral usullari atom yadrolarining ichki qobiqlaridan elektronlarning chiqarilishi natijasida hosil bo'ladigan rentgen nurlanishini tahlil qilishga asoslangan bo'lib, element tarkibini aniqlashga imkon beradi. Energiya-dispersiv rentgen spektrometriyasi (EDS) rentgen nurlarining energiyasini o'lchaydi va elementlar nisbatini tez aniqlaydi